ベーキングシステム

製品・サービス特長

【ラインナップ】
・SB50
TEOS、SiCl4、WF6などの液体材料を気化させ、MFCでダイレクトにコントロール。

・AS50,60A
CVD装置などに組み込み、装置サイトでの操作を前提に開発しました。操作パネルなどを省き、基本機能だけを凝縮、超小型化を実現しました。

・AL50
温度表示、流量の設定・表示、AVの開閉、アラートなどの表示ができます。
AS50,60A導入時のチェック作業用または、テストツールとして使用します。

・GS430A
ベーキングシステムの技術を結集した信頼性の高いシステムで、光ファイバーや合成石英の主原料であるSiCl4などの大量安定制御に最適です。

・TC50
SB50と組み合わせて使用する外部配管湿調システム。

・RS90
SB50と組み合わせて使用。N2による液体材料の圧送システム。

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

用途/使用例

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カタログ

ベーキングシステム[2MB]

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カテゴリ

• 製品分類

  >FA機器/制御機器

  >流量制御装置

• 業界

  >産業用機械・装置