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コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkine シリーズ

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    ●コントローラ・電源一体型:  コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計。出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要になります。面倒なケーブル引き回し作業が無くなり設置が簡単です。装置設計が自由になりコストダウンに貢献いたします。 ●バランスの良い排気性能で幅広いプロセスに適応:  広い真空領域で大流量排気が可能。優れた到達圧力高圧縮比。補助ポンプと同時起動で排気時間を短縮ができます。ロータ回転数を任意に設定可能(110~450rps)。プロセスに応じて排気能力を調整でき圧力調整バルブが不要になります。 ●省スペース化アクセス性の向上: 各種アクセス部(スイッチ、LED、ケーブル/配管接続部など)を前面に集約し作業効率改善。横、後ろの周囲スペースが削減でき装置のコンパクト化に貢献いたします。メンテナンス時のアクセスも容易です。 ●多様な通信対応:  複数の通信仕様から選択でき遠隔操作複数台制御もできます。(Parallel I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet) ●IP54標準対応:(防塵・防滴)標準対応

企業情報

株式会社 大阪真空機器製作所 株式会社 大阪真空機器製作所
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